ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質(zhì)譜（Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry），它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器。 ICP利用在電感線圈上施加的強(qiáng)大功率的射頻信號在線圈包圍區(qū)域形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質(zhì)譜是一個質(zhì)量篩選器，通過選擇不同質(zhì)荷比（m/z）的離子通過并到達(dá)檢測器，來檢測某個離子的強(qiáng)度，進(jìn)而分析計(jì)算出某種元素的強(qiáng)度。